華測儀器Huace-991防靜電材料電阻測試儀
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Huace-991防靜電材料電阻測試儀由華測儀器生產(chǎn),采用GB或ASTM測試方法進行計算,確定材料的體積電阻率ρv=Vwd/IL,可測量片狀、薄膜、板狀的產(chǎn)品以及其它導體、半導體材料的體積電阻率。
產(chǎn)品參數(shù)
基本參數(shù)
電壓表測試范圍:10mV ~ 150V 精度0.5以下
電流表測試范圍:100mA ~ 1.2A 精度0.5以下(注意1μA以下電流要做障蔽處理)
電源精度:電壓精度0.5%
電流精度0.5%
設備參數(shù)
靜電計(靜電電壓表):100mV~±200V,輸入電阻≥1014Ω(100TΩ),0.5%
皮安電流表:1nA ~ 2A,精度1以下(注意:1μA以下的電流要做屏障處理)
測量范圍:10-9Ω.m ~ 1011Ω.m(另配測試三電極和電源,可以測量體積電阻率達1019Ω.m)
準確度:1%
表面/體積電阻測量用電極
本裝置采用四電極(四點探針或四探針)法測量導電和防靜電材料體積電阻率,可以克服表面接觸電阻造成的誤差影響,Huace991系列配備可提供穩(wěn)定直流電源與電流采集系統(tǒng),可直接測量半導體、導體材料的體積電阻率。

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