干式真空泵（又簡稱干式機械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復雜。而使用適當型式的干式真空泵，則可以達到理想的使用效果。
　　干式真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
　　1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
　　2）半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
　　3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
　　4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
　　5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
　　干式真空泵主要有下列幾種形式：
　　雙圓裂片式
　　三葉圓裂片式
　　組合式(羅茨+爪)
　　外部壓縮型螺桿式
　　內(nèi)部壓縮型螺桿式
　　干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。