Thermal Control system氣體溫控器
Thermal Control system氣體溫控器
電子器件的熱測(cè)試、半導(dǎo)體工藝工具中晶圓夾頭的冷卻、真空 室的冷氣體充氣、流變學(xué)、材料的低溫特性等。
• 連續(xù)冷卻 ThermoTST GC120氣體制冷機(jī)在不 進(jìn)行預(yù)冷的情況下,將干燥氣體(如 氮?dú)狻鍤饣蚩諝?從環(huán)境溫度冷卻 到低溫。氣體冷凍機(jī)是一種閉環(huán)制冷 系統(tǒng),它利用制冷劑對(duì)管內(nèi)換熱器進(jìn) 行氣體冷卻。氣流是不循環(huán)的。
| 溫度范圍 | ≤ -120℃ |
| 性能 | ≤-120°C,制冷機(jī)輸出18SCFM |
| 預(yù)冷時(shí)間 | ≤ 20min |
| 系統(tǒng)操作 | 高清彩色觸摸屏,7”TFT |
| 系統(tǒng)語(yǔ)言 | 中文/英文 |
| 進(jìn)/出氣接口 | 1/4”Rc Female 3/8”Rc Female |
| 通訊接口 | RS-232,LAN |
| 制冷劑 | 環(huán)保型冷媒 |
| 噪音 | ≤65dBA |
| 供氣氣源要求 | |
| 氣體 | 各種干燥氣體(如:氮?dú)?,氬氣,氧氣等)或潔凈的壓縮空氣 |
| 氣體含油量 | 油分子:≤ 0.01ppm,過(guò)濾至0.1um的油霧污染物 |
| 進(jìn)氣溫度 | +5°C至+25°C |
| CDA時(shí)壓力露點(diǎn) | < 10℃ @0.62Mpa(90PSI) |
| CDA時(shí)進(jìn)氣壓力 | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s);標(biāo)準(zhǔn)25SCFM(11.8L/S) |
| 設(shè)備工作環(huán)境要求 | |
| 溫度 | +10 oC 至 + 25 oC |
| 相對(duì)濕度 | 5% 至 85% |
獨(dú)立安裝,體積小巧
可連續(xù)運(yùn)行
已裝運(yùn),可隨時(shí)操作
采用單臺(tái)壓縮機(jī),性能可靠
· 集成式氣體干燥器,無(wú)需 外置
· 風(fēng)冷或水冷機(jī)型可選
· 專有制冷劑,符合環(huán)境氣 候協(xié)議
獨(dú)立安裝,體積小巧
可連續(xù)運(yùn)行
已裝運(yùn),可隨時(shí)操作
采用單臺(tái)壓縮機(jī),性能可靠
· 集成式氣體干燥器,無(wú)需 外置
· 風(fēng)冷或水冷機(jī)型可選
· 專有制冷劑,符合環(huán)境氣候協(xié)議
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